Ellipszometrias vizsgálatok oxidalt szilicium felvezeto kristalyfeluleteken/ Đào Văn Phúc
Tác giả : Đào Văn Phúc
Năm xuất bản : 1970
Nơi xuất bản : Budapest
Mô tả vật lý : 103tr; 32cm + 1 bản tóm tắt + 1 bản dịch tóm tắt
Chủ đề : 1. Dụng cụ. 2. Quang phổ. 3. Tinh thể bán dẫn.
Thông tin chi tiết
Tóm tắt : | Các khảo sát bằng ellipsometre những lớp mỏng SiO2 hình thành trên bề mặt tinh thể silicium. Xác định chiết xuất của lớp mỏng Si02, khảo sát sự biến đổi chiết xuất của SiO2 bằng các quá trình công nghệ kháu nhau. Về ellipsometre - là một dụng cụ nhạy trong việc kiểm tra công cụ oxy hóa peanar |
Thông tin dữ liệu nguồn
Thư viện | Ký hiệu xếp giá | Dữ liệu nguồn |
---|---|---|
Thư viện Quốc gia Việt Nam |
AL48 |
https://opac.nlv.gov.vn/pages/opac/wpid-detailbib-id-239493.html |