loading

Ellipszometrias vizsgálatok oxidalt szilicium felvezeto kristalyfeluleteken/ Đào Văn Phúc

Tác giả : Đào Văn Phúc

Năm xuất bản : 1970

Nơi xuất bản : Budapest

Mô tả vật lý : 103tr; 32cm + 1 bản tóm tắt + 1 bản dịch tóm tắt

Chủ đề : 1. Dụng cụ. 2. Quang phổ. 3. Tinh thể bán dẫn.

Thông tin chi tiết

Tóm tắt :

Các khảo sát bằng ellipsometre những lớp mỏng SiO2 hình thành trên bề mặt tinh thể silicium. Xác định chiết xuất của lớp mỏng Si02, khảo sát sự biến đổi chiết xuất của SiO2 bằng các quá trình công nghệ kháu nhau. Về ellipsometre - là một dụng cụ nhạy trong việc kiểm tra công cụ oxy hóa peanar

 Thông tin dữ liệu nguồn

 Thư viện  Ký hiệu xếp giá  Dữ liệu nguồn
Thư viện Quốc gia Việt Nam AL48
https://opac.nlv.gov.vn/pages/opac/wpid-detailbib-id-239493.html