Spin - On glass materials and applications in advanced IC technologies: LATS Kỹ thuật/ Nguyễn Như Toàn
Tác giả : Nguyễn Như Toàn
Năm xuất bản : 1999
Nơi xuất bản : Enschede
Mô tả vật lý : 147tr.; 17cm 1 tt
Số phân loại : 621.3815
Chủ đề : 1. $2Bộ TK TVQGĐiện tử bán dẫn. 2. $2Bộ TK TVQGỨng dụng. 3. Vật liệu Spin-on glass.
Thông tin chi tiết
Tóm tắt : | Nghiên cứu việc chế tạo lớp chuyển tiếp bán dẫn PN màng mỏng bằng phương pháp khuếch tán từ vật liệu Spin-on glass dùng cho công nghệ BiC MOS trong tương lai với kích thước linh kiện siêu nhỏ. Nghiên cứu sự khuyếch tán của các tạp chất từ lớp Spin on Dopant vào đế silic và vào cấu trúc polysilican trên đế silic |
Thông tin dữ liệu nguồn
Thư viện | Ký hiệu xếp giá | Dữ liệu nguồn |
---|---|---|
Thư viện Quốc gia Việt Nam |
LA04.07036 |
https://opac.nlv.gov.vn/pages/opac/wpid-detailbib-id-243693.html |