loading

Spin - On glass materials and applications in advanced IC technologies: LATS Kỹ thuật/ Nguyễn Như Toàn

Tác giả : Nguyễn Như Toàn

Năm xuất bản : 1999

Nơi xuất bản : Enschede

Mô tả vật lý : 147tr.; 17cm 1 tt

Số phân loại : 621.3815

Chủ đề : 1. $2Bộ TK TVQGĐiện tử bán dẫn. 2. $2Bộ TK TVQGỨng dụng. 3. Vật liệu Spin-on glass.

Thông tin chi tiết

Tóm tắt :

Nghiên cứu việc chế tạo lớp chuyển tiếp bán dẫn PN màng mỏng bằng phương pháp khuếch tán từ vật liệu Spin-on glass dùng cho công nghệ BiC MOS trong tương lai với kích thước linh kiện siêu nhỏ. Nghiên cứu sự khuyếch tán của các tạp chất từ lớp Spin on Dopant vào đế silic và vào cấu trúc polysilican trên đế silic

 Thông tin dữ liệu nguồn

 Thư viện  Ký hiệu xếp giá  Dữ liệu nguồn
Thư viện Quốc gia Việt Nam LA04.07036
https://opac.nlv.gov.vn/pages/opac/wpid-detailbib-id-243693.html