
Modellierung von oxydations prozessen bei der herstellung von mosschaltkneisen: Dissertation A. Doktor ingenieur/ Trần Văn Bình
Tác giả : Trần Văn Bình
Năm xuất bản : 1990
Nơi xuất bản : Ilmenau
Mô tả vật lý : 78tr.: hình vẽ, bảng biểu; 32cm 1 tt
Số phân loại : 621.3815
Chủ đề : 1. Chế tạo. 2. Điện tử. 3. Mô hình hoá. 4. Ôxi hoá. 5. Quá trình. 6. Vi mạch điện tử.
Thông tin chi tiết
Tóm tắt : | Đề cập tới việc mô quá trình ôxi hoá 2 chiều trong việc nghiên cứu và sản xuất các mạch vi điện tử lớn (LSI) và cực lớn (VLSI) dưới điều kiện của lớp ôxít đàn hồi nén |
Thông tin dữ liệu nguồn
Thư viện | Ký hiệu xếp giá | Dữ liệu nguồn |
---|---|---|
![]() |
L2650 |
https://opac.nlv.gov.vn/pages/opac/wpid-detailbib-id-247508.html |