
Nghiên cứu thiết kế và chế tạo cảm biến tụ phẳng / Nguyễn, Minh Ngọc; Chử, Đức Trình
Tác giả : Nguyễn, Minh Ngọc; Chử, Đức Trình
Năm xuất bản : 2016
Mô tả vật lý : 51 tr.
Chủ đề : 1. Cảm biến tụ phẳng Thiết kế và chế tạo. 2. Điện tử Nghiên cứu. 3. Thesis.
Thông tin chi tiết
Tóm tắt : | Những ứng dụng phổ biến nhất của MEMS là các chip vi cảm biến. Chúng trở nên đa dạng trong các ứng dụng và có thể tìm ra ở hầu hết khắp nơi trong cuộc sống thường ngày. Sự phổ biến của các cảm biến này chủ yếu từ những ưu điểm mà chúng sở hữu. Ngoài việc chúng có kích thước nhỏ, cảm biến MEMS tiêu thụ rất ít năng lượng và có khả năng đo rất chính xác. Nguyên lý hoạt động của cảm biến MEMS là khác nhau tùy thuộc vào mục đích sử dụng. Tất cả các cảm biến đo lường sự thay đổi và các thiết bị MEMS thực hiện nhiệm vụ đó với một hoặc sự kết hợp của các phương pháp phát hiện sau đây: cơ khí, quang học, điện, từ trường, nhiệt và hóa học. |
Thông tin dữ liệu nguồn
Thư viện | Ký hiệu xếp giá | Dữ liệu nguồn |
---|---|---|
![]() |
|
https://repository.vnu.edu.vn/handle/VNU_123/17209 |