
Robust and adaptive control in high precision positioning system for semiconductor device stage: Thesis/ Truong Ngoc Minh
Tác giả : Truong Ngoc Minh
Năm xuất bản : 2007
Nơi xuất bản : Nagaoka
Mô tả vật lý : 102p.: ill.; 30cm 1 resume
Số phân loại : 621.381
Chủ đề : 1. Bán dẫn. 2. Chế tạo. 3. Hệ thống điều khiển. 4. Sản xuất.
Thông tin chi tiết
Tóm tắt : | Nghiên cứu hệ thống điều khiển vị trí chính xác cao ứng dụng trong lĩnh vực sản xuất bán dẫn dưới tác động ảnh hưởng của ma sát và tham số thay đổi |
Thông tin dữ liệu nguồn
Thư viện | Ký hiệu xếp giá | Dữ liệu nguồn |
---|---|---|
![]() |
LA04.12791 |
https://opac.nlv.gov.vn/pages/opac/wpid-detailbib-id-288513.html |