Robust and adaptive control in high precision positioning system for semiconductor device stage: Thesis/ Truong Ngoc Minh

Tác giả : Truong Ngoc Minh

Năm xuất bản : 2007

Nơi xuất bản : Nagaoka

Mô tả vật lý : 102p.: ill.; 30cm 1 resume

Số phân loại : 621.381

Chủ đề : 1. Bán dẫn. 2. Chế tạo. 3. Hệ thống điều khiển. 4. Sản xuất.

Thông tin chi tiết

Tóm tắt :

Nghiên cứu hệ thống điều khiển vị trí chính xác cao ứng dụng trong lĩnh vực sản xuất bán dẫn dưới tác động ảnh hưởng của ma sát và tham số thay đổi

 Thông tin dữ liệu nguồn

 Thư viện  Ký hiệu xếp giá  Dữ liệu nguồn
Thư viện Quốc gia Việt Nam LA04.12791
https://opac.nlv.gov.vn/pages/opac/wpid-detailbib-id-288513.html