Thiết kế, mô phỏng, chế tạo và phân tích chất lượng vi cảm biến gia tốc kiểu áp trở: LATS Công nghệ điện tử viễn thông : 62.52.70.01/ Trần Đức Tân
Tác giả : Trần Đức Tân
Năm xuất bản : 2008
Nơi xuất bản : H.
Mô tả vật lý : 115 tr., pl.: minh hoạ; 30 cm 1 tt
Số phân loại : 621.3815
Chủ đề : 1. $2Bộ TK TVQGChế tạo. 2. $2Bộ TK TVQGĐiện tử. 3. $2Bộ TK TVQGMô phỏng. 4. $2Bộ TK TVQGThiết kế. 5. $2Bộ TK TVQGVi cảm biến. 6. Cảm biến gia tốc.
Thông tin chi tiết
Tóm tắt : | Tổng quan về công nghệ vi cơ điện tử (MEMS), cảm biến gia tốc silic, cảm biến gia tốc nhiều bậc tự do và các vấn đề tối ưu. Các xu hướng thiết kế cho linh kiện MEMS áp dụng cho cảm biến gia tốc kiểu áp điện trở. Nguyên lý thiết kế và áp dụng vào cảm biến gia tốc ba chiều. Chế tạo và căn chuẩn cảm biến gia tốc ba chiều. Tối ưu trên cấu trúc đã chế tạo. |
Thông tin dữ liệu nguồn
Thư viện | Ký hiệu xếp giá | Dữ liệu nguồn |
---|---|---|
Thư viện Quốc gia Việt Nam |
LA04.14792 |
https://opac.nlv.gov.vn/pages/opac/wpid-detailbib-id-408235.html |