Mems và Nems vật liệu, thiết kế và chế tạo/ Đinh Sỹ Hiền
Tác giả : Đinh Sỹ Hiền
Nhà xuất bản : Đại học Quốc gia Tp. Hồ Chí Minh
Năm xuất bản : 2011
Nơi xuất bản : Tp. Hồ Chí Minh
Mô tả vật lý : 302tr.: minh hoạ; 24cm
Số phân loại : 621.381
Chủ đề : 1. $2Bộ TK TVQGVi điện tử. 2. Công nghệ Mems. 3. Công nghệ Nems.
Thông tin chi tiết
Tóm tắt : | Tổng quan về công nghệ chế tạo vi điện tử Mems, Nems. Vật liệu, công nghệ thiết kế và hệ thống đóng gói Mems, Nems. Phương pháp Liga. Ứng dụng của công nghệ Mems trong công nghiệp |
Thông tin dữ liệu nguồn
Thư viện | Ký hiệu xếp giá | Dữ liệu nguồn |
---|---|---|
Thư viện Quốc gia Việt Nam |
|
https://opac.nlv.gov.vn/pages/opac/wpid-detailbib-id-457687.html |