loading
  • Trang chủ
  • Luận án, luận văn
  • A Study of Statistical Characterization of Strength and Fatigue Lifetime for Silicon and Polysilicon Structures in MEMS: Doctoral thesis/ Vu Le Huy
Luận án, luận văn

A Study of Statistical Characterization of Strength and Fatigue Lifetime for Silicon and Polysilicon Structures in MEMS: Doctoral thesis/ Vu Le Huy

Tác giả : Vu Le Huy

Năm xuất bản : 2013

Nơi xuất bản : Nagoya

Mô tả vật lý : V, 137 p.; 30cm 1 resume

Số phân loại : 668.4

Chủ đề : 1. $2Bộ TK TVQGCơ khí. 2. $2Bộ TK TVQGĐộ bền. 3. Tuổi thọ mỏi. 4. Vật liệu polisilicon. 5. Vật liệu silicon.

Chia sẻ

Thông tin chi tiết

Tóm tắt :

Nghiên cứu mô tả, dự đoán độ bền , tuổi thọ mỏi của các cấu trúc làm bằng vật liệu silicon và polysilicon dùng trong các hệ thống vi cơ điện tử (MEMS). Cấu trúc silicon với hình dạng bất kỳ đã được dự đoán về độ bền dựa trên kết quả thí nghiệm từ những hình dạng mẫu đơn giản bằng phương pháp thống kê sử dụng phân bố Weilbull.Dựa trên độ bền tĩnh của cấu trúc đã biết, tuổi thọ mỏi được thiết lập và dự đoán bằng phương pháp thống kê triển khai từ phân bố của độ bền tĩnh và quá trình mở rộng của vết nứt mỏi được mô tả theo luật Paris.
Chia sẻ


Hiển thị MARC

 Thông tin dữ liệu nguồn

 Thư viện  Ký hiệu xếp giá  Dữ liệu nguồn
Thư viện Quốc gia Việt Nam LA13.0612.1, LA13.0612.2, LA13.0612.3
 https://opac.nlv.gov.vn/pages/opac/wpid-detailbib-id-471586.html