loading

Kỹ thuật chế tạo màng mỏng/ Vũ Thị Hạnh Thu

Tác giả : Vũ Thị Hạnh Thu

Nhà xuất bản : Đại học Quốc gia Tp. Hồ Chí Minh

Năm xuất bản : 2014

Nơi xuất bản : Tp. Hồ Chí Minh

Mô tả vật lý : 227tr.: minh hoạ; 21cm

ISBN : 9786047327904

Số phân loại : 530.4275

Chủ đề : 1. $2Bộ TK TVQGChế tạo. 2. $2Bộ TK TVQGKĩ thuật. 3. $2Bộ TK TVQGMàng mỏng. 4. $2Bộ TK TVQGVật lí. 5. $2Bộ TK TVQGGiáo trình.

Thông tin chi tiết

Tóm tắt :

Trình bày các kĩ thuật chế tạo màng từ pha dung dịch và pha hơi bao gồm các phương pháp như: mạ điện, sol-gel, lắng đọng hơi hoá học (CVD), lắng đọng lớp nguyên tử (ALD), bốc bay nhiệt, bốc bay chùm điện tử, lắng đọng màng bằng xung laser (PLD), phún xạ diode phẳng, phún xạ magnetron...

 Thông tin dữ liệu nguồn

 Thư viện  Ký hiệu xếp giá  Dữ liệu nguồn
Thư viện Quốc gia Việt Nam
https://opac.nlv.gov.vn/pages/opac/wpid-detailbib-id-579068.html