![](http://www.emiclib.com/Content/Images/Cover/BookCover26.jpg)
Kỹ thuật chế tạo màng mỏng/ Vũ Thị Hạnh Thu
Tác giả : Vũ Thị Hạnh Thu
Nhà xuất bản : Đại học Quốc gia Tp. Hồ Chí Minh
Năm xuất bản : 2014
Nơi xuất bản : Tp. Hồ Chí Minh
Mô tả vật lý : 227tr.: minh hoạ; 21cm
ISBN : 9786047327904
Số phân loại : 530.4275
Chủ đề : 1. $2Bộ TK TVQGChế tạo. 2. $2Bộ TK TVQGKĩ thuật. 3. $2Bộ TK TVQGMàng mỏng. 4. $2Bộ TK TVQGVật lí. 5. $2Bộ TK TVQGGiáo trình.
Thông tin chi tiết
Tóm tắt : | Trình bày các kĩ thuật chế tạo màng từ pha dung dịch và pha hơi bao gồm các phương pháp như: mạ điện, sol-gel, lắng đọng hơi hoá học (CVD), lắng đọng lớp nguyên tử (ALD), bốc bay nhiệt, bốc bay chùm điện tử, lắng đọng màng bằng xung laser (PLD), phún xạ diode phẳng, phún xạ magnetron... |
Thông tin dữ liệu nguồn
Thư viện | Ký hiệu xếp giá | Dữ liệu nguồn |
---|---|---|
![]() |
|
https://opac.nlv.gov.vn/pages/opac/wpid-detailbib-id-579068.html |