loading

Research on a novel structure MEMS piezoesistive pressure sensor: Doctor of Philosophy/ Tran Anh Vang

Tác giả : Tran Anh Vang

Năm xuất bản : 2018

Nơi xuất bản : Guangzhou

Mô tả vật lý : vi, 120 p.: ill.; 30 cm 1 resume

Số phân loại : 621.381

Chủ đề : 1. Vi điện tử. 2. 7. 3. Cảm biến áp suất. 4. MEMS.

Thông tin chi tiết

Tóm tắt :

Nghiên cứu phương pháp thiết kế, chế tạo và thử nghiệm một loại cảm biến vi áp suất MEMS dạng áp trở có cấu trúc đặc biệt, độ nhạy cao. Phân tích ảnh hưởng của nhiệt độ đến độ nhạy và độ chính xác của cảm biến áp suất. Kết quả tính toán, mô phỏng và thực nghiệp cho thấy cảm biến vi áp suất MEMS dạng áp trở trong nghiên cứu này so sánh với chip hiện có thì sản phẩm này có ưu điểm vượt trội, có thể được ứng dụng trong các lĩnh vực như hệ thống vi cơ, các thiết bị y học, công nghiệp và hàng không vũ trụ

 Thông tin dữ liệu nguồn

 Thư viện  Ký hiệu xếp giá  Dữ liệu nguồn
Thư viện Quốc gia Việt Nam LA18.1062.1, LA18.1062.2, LA18.1062.3
https://opac.nlv.gov.vn/pages/opac/wpid-detailbib-id-711913.html