
Research on a novel structure MEMS piezoesistive pressure sensor: Doctor of Philosophy/ Tran Anh Vang
Tác giả : Tran Anh Vang
Năm xuất bản : 2018
Nơi xuất bản : Guangzhou
Mô tả vật lý : vi, 120 p.: ill.; 30 cm 1 resume
Số phân loại : 621.381
Chủ đề : 1. Vi điện tử. 2. 7. 3. Cảm biến áp suất. 4. MEMS.
Thông tin chi tiết
Tóm tắt : | Nghiên cứu phương pháp thiết kế, chế tạo và thử nghiệm một loại cảm biến vi áp suất MEMS dạng áp trở có cấu trúc đặc biệt, độ nhạy cao. Phân tích ảnh hưởng của nhiệt độ đến độ nhạy và độ chính xác của cảm biến áp suất. Kết quả tính toán, mô phỏng và thực nghiệp cho thấy cảm biến vi áp suất MEMS dạng áp trở trong nghiên cứu này so sánh với chip hiện có thì sản phẩm này có ưu điểm vượt trội, có thể được ứng dụng trong các lĩnh vực như hệ thống vi cơ, các thiết bị y học, công nghiệp và hàng không vũ trụ |
Thông tin dữ liệu nguồn
Thư viện | Ký hiệu xếp giá | Dữ liệu nguồn |
---|---|---|
![]() |
LA18.1062.1, LA18.1062.2, LA18.1062.3 |
https://opac.nlv.gov.vn/pages/opac/wpid-detailbib-id-711913.html |