
Plasma etching: An introduction/ Daniel L. Flamm, Dennis M. Manos (ed.), G. K. Herb..
Tác giả : Daniel L. Flamm, Dennis M. Manos (ed.), G. K. Herb..
Nhà xuất bản : Academic Press
Năm xuất bản : 1989
Nơi xuất bản : San Diego
Mô tả vật lý : xii, 476 p.: ill.; 24 cm
ISBN : 9780124693708
Số phân loại : 621.044
Tùng thư :
Plasma - Materials interactions / Ed.: Orlando Auciello, Daniel L. Flamm
Chủ đề : 1. $2Bộ TK TVQGKhắc. 2. $2Bộ TK TVQGPlasma.
Thông tin dữ liệu nguồn
Thư viện | Ký hiệu xếp giá | Dữ liệu nguồn |
---|---|---|
![]() |
|
https://opac.nlv.gov.vn/pages/opac/wpid-detailbib-id-713487.html |