loading

Plasma etching: An introduction/ Daniel L. Flamm, Dennis M. Manos (ed.), G. K. Herb..

Tác giả : Daniel L. Flamm, Dennis M. Manos (ed.), G. K. Herb..

Nhà xuất bản : Academic Press

Năm xuất bản : 1989

Nơi xuất bản : San Diego

Mô tả vật lý : xii, 476 p.: ill.; 24 cm

ISBN : 9780124693708

Số phân loại : 621.044

Tùng thư : Plasma - Materials interactions / Ed.: Orlando Auciello, Daniel L. Flamm

Chủ đề : 1. $2Bộ TK TVQGKhắc. 2. $2Bộ TK TVQGPlasma.

 Thông tin dữ liệu nguồn

 Thư viện  Ký hiệu xếp giá  Dữ liệu nguồn
Thư viện Quốc gia Việt Nam
https://opac.nlv.gov.vn/pages/opac/wpid-detailbib-id-713487.html