
Surface acoustic mode aluminum nitride transducer transducer for micro-size liquid sensing applications: Thesis/ Bui Thu Hang
Tác giả : Bui Thu Hang
Năm xuất bản : 2018
Nơi xuất bản : Delft
Mô tả vật lý : vii,135 p.: ill.; 24 cm 1 resume
Số phân loại : 530.42
Chủ đề : 1. $2Bộ TK TVQGCảm biến. 2. $2Bộ TK TVQGChất lỏng. 3. $2Bộ TK TVQGMàng mỏng. 4. Sóng âm bề mặt.
Thông tin chi tiết
Tóm tắt : | Nghiên cứu thiết bị sóng âm bề mặt dựa trên màng mỏng Aluminum Nitride (AIN) cho ứng dụng cảm biến chất lỏng. Vật liệu sử dụng AIN được công nghệ phún xạ tiên tiến. Cấu trúc đơn giản của thiết bị gồm lớp màng mỏng AIN/Si tương tác trực tiếp với môi trưởng chất lỏng. Khả năng ứng dụng được phân tích và mô phỏng qua kết quả mô phỏng thí nghiệm |
Thông tin dữ liệu nguồn
Thư viện | Ký hiệu xếp giá | Dữ liệu nguồn |
---|---|---|
![]() |
LA18.2506.1, LA18.2506.2, LA18.2506.3 |
https://opac.nlv.gov.vn/pages/opac/wpid-detailbib-id-759374.html |