loading

Surface acoustic mode aluminum nitride transducer transducer for micro-size liquid sensing applications: Thesis/ Bui Thu Hang

Tác giả : Bui Thu Hang

Năm xuất bản : 2018

Nơi xuất bản : Delft

Mô tả vật lý : vii,135 p.: ill.; 24 cm 1 resume

Số phân loại : 530.42

Chủ đề : 1. $2Bộ TK TVQGCảm biến. 2. $2Bộ TK TVQGChất lỏng. 3. $2Bộ TK TVQGMàng mỏng. 4. Sóng âm bề mặt.

Thông tin chi tiết

Tóm tắt :

Nghiên cứu thiết bị sóng âm bề mặt dựa trên màng mỏng Aluminum Nitride (AIN) cho ứng dụng cảm biến chất lỏng. Vật liệu sử dụng AIN được công nghệ phún xạ tiên tiến. Cấu trúc đơn giản của thiết bị gồm lớp màng mỏng AIN/Si tương tác trực tiếp với môi trưởng chất lỏng. Khả năng ứng dụng được phân tích và mô phỏng qua kết quả mô phỏng thí nghiệm

 Thông tin dữ liệu nguồn

 Thư viện  Ký hiệu xếp giá  Dữ liệu nguồn
Thư viện Quốc gia Việt Nam LA18.2506.1, LA18.2506.2, LA18.2506.3
https://opac.nlv.gov.vn/pages/opac/wpid-detailbib-id-759374.html