loading
  • Trang chủ
  • Luận án, luận văn
  • Nghiên cứu thiết kế và mô phỏng hoạt động của bộ vi chấp hành mũi dò quét định hướng ứng dụng khắc các cấu trúc nano: LATS Khoa học vật liệu: 9.44.01.22/ Đặng Văn Hiếu
Luận án, luận văn

Nghiên cứu thiết kế và mô phỏng hoạt động của bộ vi chấp hành mũi dò quét định hướng ứng dụng khắc các cấu trúc nano: LATS Khoa học vật liệu: 9.44.01.22/ Đặng Văn Hiếu

Tác giả : Đặng Văn Hiếu

Năm xuất bản : 2021

Nơi xuất bản : H.

Mô tả vật lý : XII, 119tr.: minh hoạ; 30cm 1 tt

Số phân loại : 620.5

Chủ đề : 1. $2Bộ TK TVQGCấu trúc nano. 2. $2Bộ TK TVQGHoạt động. 3. $2Bộ TK TVQGMô phỏng. 4. $2Bộ TK TVQGThiết kế. 5. Mũi dò quét.

Chia sẻ

Thông tin chi tiết

Tóm tắt :

Nghiên cứu phát triển các bộ vi chấp hành một chiều (trục z) có dịch chuyển thẳng đứng để khắc phục độ lệch biên, có dịch chuyển lớn và chống nhiễu kết cặp mode. Thiết kế bộ chấp hành ba chiều có thể điều khiển độc lập, tích hợp trên cùng một chip, công nghệ chế tạo đơn giản, có thể thực hiện được với công nghệ hiện có ở trong nước, định hướng ứng dụng các bộ vi dịch chuyển có tích hợp mũi dò trong khắc các cấu trúc nano dạng một và hai chiều
Chia sẻ


Hiển thị MARC

 Thông tin dữ liệu nguồn

 Thư viện  Ký hiệu xếp giá  Dữ liệu nguồn
Thư viện Quốc gia Việt Nam LA21.0692.1, LA21.0692.2, LA21.0692.3
 https://opac.nlv.gov.vn/pages/opac/wpid-detailbib-id-829530.html