Công nghệ chế tạo mạch vi điện tử / Nguyễn Đức Chiến (c.b); Nguyễn Văn Hiếu
Tác giả : Nguyễn Đức Chiến (c.b); Nguyễn Văn Hiếu
Nhà xuất bản : Bách khoa
Năm xuất bản : 2007
Nơi xuất bản : H.
Mô tả vật lý : 340tr. : hình vẽ, bảng ; 24cm
Số phân loại : 621.381
Chủ đề : 1. Cấu trúc. 2. Công nghệ chế tạo. 3. Đặc trưng. 4. Điện năng. 5. Khuyếch tán. 6. Kỹ thuật. 7. Linh kiện bán dẫn. 8. Mạch vi điện tử. 9. Mô hình. 10. Oxi hóa nhiệt. 11. Phương pháp vật lý. 12. Vật liệu bán dẫn.
Thông tin chi tiết
Tóm tắt : | Giới thiệu các khâu công nghệ chủ yếu trong qui trình chế tạo mạch vi điện tử, xử lý nhiệt nhanh, các phương pháp vật lý tạo màng mỏng.. |
Thông tin dữ liệu nguồn
Thư viện | Ký hiệu xếp giá | Dữ liệu nguồn |
---|---|---|
Thư Viện Tỉnh An Giang |
DL.006237, ML.002943, ML.002944 |
https://tracuuthuvien.angiang.gov.vn/Item/ItemDetail/30852?siteid=2 |
Thư viện Khoa học Tổng hợp TP.HCM |
VV 179/2008, VV 180/2008 |
https://phucvu.thuvientphcm.gov.vn//Item/ItemDetail/405739?siteid=2 |
Thư viện tỉnh Vĩnh Long |
PM.058804, PM.058805, VL.006485 |
http://tvvl.emiclib.com/Item/ItemDetail/36281?siteid=2 |