
Microelectromechanical systems : advanced materials and fabrication methods / Committee on Advanced Materials and Fabrication Methods for Microelectromechanical Systems
Tác giả : Committee on Advanced Materials and Fabrication Methods for Microelectromechanical Systems
Nhà xuất bản : National Academy Press
Năm xuất bản : 1997
Chủ đề : 1. Cơ điện tử. 2. Microelectronics. 3. Book.
Thông tin dữ liệu nguồn
Thư viện | Ký hiệu xếp giá | Dữ liệu nguồn |
---|---|---|
![]() |
|
http://thuvien.ued.udn.vn/handle/TVDHSPDN_123456789/41266 |