loading
Sách, tuyển tập

Ultraclean surface processing of silicon wafers: Secrets of VLSI manufacturing/ ed. : Takeshi Hattori

Tác giả : ed. : Takeshi Hattori

Nhà xuất bản : Springer

Năm xuất bản : 1998

Mô tả vật lý : xxviii, 616tr : m. hoạ; 25cm

Chủ đề : 1. silicon. 2. tổng hợp hữu cơ.

Chia sẻ

Thông tin chi tiết

Tóm tắt :

Giới thiệu công nghệ làm sạch vảy silicon trong sản xuất tổng hợp qui mô lớn. ảnh hưởng của sự nhiễm bẩn đối với việc tổng hợp qui mô lớn. Đánh giá cơ chế của sự dính chặt các hạt vào bề mặt vảy silicon trong không khí, thạch anh, bụi, chất lỏng; Phân tích và đánh giá bề mặt vảy từ cơ bản tới áp dụng vào phương pháp xử lí tổng hợp trên qui mô lớn
Chia sẻ


Hiển thị MARC

 Thông tin dữ liệu nguồn

 Thư viện  Ký hiệu xếp giá  Dữ liệu nguồn
Thư viện Quốc gia Việt Nam NV99.130
 https://opac.nlv.gov.vn/pages/opac/wpid-detailbib-id-116475.html